Perdita di peso su bcp.

Sintesi ed elaborazione Astratto L'autoassemblaggio diretto DSA dei copolimeri a blocchi è una tecnica emergente per la nano-litografia, ma è limitato nella gamma di strutture possibili in una singola perdita di peso con turbocompressore di fabbricazione.

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Qui ci espandiamo sul tradizionale modello chimico DSA. Una miscela di copolimeri a blocchi lamellari e cilindri si assembla su reticoli di linea chimica di superficie appositamente progettati, portando alla formazione simultanea di morfologie coesistenti ordinate in aree separate del substrato. Nel nostro approccio, il modello chimico codifica le disposizioni spaziali locali desiderate di motivi di design coesistenti, autoassemblati da un singolo, sofisticato resist.

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Tipicamente, le morfologie del modello di copolimero lamellare o cilindrica sono spazialmente template da rilievi topografici 4, 5, 6, 7 o disomogeneità chimica modellata 8, 9, 10 sul substrato. La commensurabilità tra la spaziatura delle caratteristiche guida e il passo naturale del copolimero L 0 e tra dimensione delle caratteristiche e dimensione del dominio BCP induce un alto grado di ordine posizionale e orientativo nei modelli auto-assemblati su scala nanometrica.

Autoassemblaggio Astratto I materiali magnetici nanostrutturati sono importanti per molte applicazioni avanzate. Di conseguenza, i nuovi metodi per la loro fabbricazione sono fondamentali. Tuttavia, accoppiare l'autoassemblaggio alla generazione di materiali magnetici in modo semplice e diretto è rimasto sfuggente. Qui sviluppiamo nuovi copolimeri a blocchi che sono preprogrammati con le informazioni chimiche necessarie per separare la microfase e fornire proprietà ferromagnetiche a temperatura ambiente a seguito di un semplice trattamento termico.

L'autoassemblaggio diretto è limitato nella gamma di strutture che possono essere fabbricate in un perdita di peso su bcp strato perché ogni materiale BCP definisce solo una singola morfologia di equilibrio. Tuttavia, questi approcci per creare schemi morfologici misti richiedono più passaggi, potenzialmente limitando la precisione di registrazione delle due morfologie. Le fasi morfologiche non alla rinfusa basate sulla ricostruzione superficiale di film BCP molto sottili che formano il cilindro possono fornire un percorso per ottenere un modello morfologico misto in un singolo strato 13, ma l'utilizzo di questo nella DSA richiede un controllo impeccabile sullo spessore del film BCP su distanze nanometriche.

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In questo lavoro, descriviamo un nuovo approccio che rafforza la coesistenza di morfologie di copolimeri a blocchi multipli allineati all'interno di un singolo strato di patterning Figura 1b. Oltre ad imporre l'ordine posizionale, qui il modello seleziona localmente il motivo desiderato di un resist di copolimero a blocchi in grado di formare morfologie di pattern multipli.

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Questa estensione alla DSA implica il rafforzamento del ruolo del modello che guida il processo di assemblaggio. La barra della scala bianca nelle immagini del microscopio elettronico a scansione indica nm.

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In pratica, fabbrichiamo più copie di ciascun prepattern grigliato, aumentando sistematicamente la dose di esposizione del fascio di elettroni tra le copie per allargare la larghezza di riga della striscia di ossido idrofilico mantenendo costante la spaziatura.

È difficile misurare le lineam-line del modello chimico assoluto; tuttavia, la dose di esposizione fornisce un mezzo efficace per variare sistematicamente questa larghezza.

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Quantificiamo la qualità del pattern autoassemblato calcolando la densità dei difetti ad ogni passo, usando l'analisi dell'immagine Fig. La barra bianca indica nm. Sottolineiamo che in questi esperimenti non osserviamo la separazione macrofase dei componenti della miscela.

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Piuttosto, i due materiali BCP rimangono intimamente mescolati, come evidenziato dai modelli uniformi attraverso le dimensioni macroscopiche del campione Figura 3a-d. Le immagini SEM trasversali mostrano che i film sono bidimensionali con uno spessore di 27 nm, senza evidenza di segregazione verticale delle catene costituenti, o una struttura tridimensionale più complessa Figure complementari Per un dato passo della griglia, mentre aumentiamo la dose, le strisce di ossido risultanti sono più larghe.

Il processo è ottimizzato selezionando due passi preferenziali per formare linee o punti e variando la dose. In h e i, utilizziamo la larghezza e il passo ottimali di SiO 2 per selezionare dalla miscela una sola morfologia, aree allineate e quasi prive di difetti.

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In Fig. Sebbene il passo prepattern sia controllato con precisione, vi è una maggiore incertezza rispetto alla larghezza della banda di ossido. Questa ampiezza della striscia probabilmente diminuisce leggermente per grandi piazzole preparatorie a causa della natura del processo di fabbricazione. I preparativi chimici con lo stesso set di passi ma fabbricati usando una maggiore esposizione ai fasci di elettroni creano ampiezze di linea SiO 2 sistematicamente più ampie e regioni idrofiliche più larghe vedi simboli blu e rossi in Fig.

Abbiamo ottimizzato il processo selezionando i singoli parametri del passo del reticolo preferenziali per entrambi i motivi di linea o punto e variando la dose di esposizione per controllare la larghezza di riga SiO 2.

La figura 3g mostra la linea per un passo prepattern di 46 nm cerchi viola e il passo prepattern 50 nm stelle arancioni. Le miscele di copolimeri a blocchi possono formare fasi singole omogenee o fasi coesistenti 17, 18, 19, 20, 2, 22, Recentemente abbiamo dimostrato che nei film sottili, le miscele di cilindri e lamelle BCP possono formare morfologie monofase o bifase La coesistenza è una firma della degenerazione energetica di due possibili morfologie.

Cenni storici[ modifica modifica wikitesto ] Giovanni Battista Morgagnifu uno dei primi a descrivere la condizione dell'enfisema nel Il termine "bronchite cronica" è entrato in uso nel[11] mentre si ritiene che la dizione di "broncopneumopatia cronica ostruttiva" sia stata introdotta a partire dal Bonet scrisse di una condizione di "polmoni voluminosi" e nel per opera di Giovanni Battista Morgagni che annota polmoni "turgidi in particolare nell'inspirio". Tuttavia, il suo strumento era in grado di misurare il volume e non il flusso d'aria. Tiffeneau e Pinelli, neldescrissero i principi di misurazione del flusso d'aria. Prove a sostegno per l'uso di steroidi nella BPCO sono stati pubblicati alla fine del

Nel presente lavoro, sfruttiamo questo fenomeno, utilizzando una composizione di miscela 1: 1 progettata per dare coesistenza di punti e linee su substrati neutri non decorati Figura 1b. Invece, perdita di peso su bcp che determinati intervalli di intonazione e larghezza di riga del modello guidano la fusione per adottare un modello di punti perdita di peso su bcp esagonalmente.

Comprensione dell'autoassemblaggio delle miscele BCP Possiamo comprendere questo fenomeno considerando l'equilibrio tra l'energetica delle distorsioni della catena stiramento o compressione e l'energia interfacciale associata all'ordine di polimero sul prepattern chimico Figure complementari e Discussione supplementare.

Le preparazioni chimiche incomprensibili distorcono la cella dell'unità BCP, incorrendo in una penalità energetica dovuta alla distorsione della catena polimerica 24,

Vedi anche